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產(chǎn)品詳情

  • 全自動(dòng)晶圓超掃

  • SONOSCAN超聲掃描顯微鏡AW300，可根據(jù)操作員所選擇的接受/拒收標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)晶圓進(jìn)行自動(dòng)處理、檢驗(yàn)和分類(lèi)。
  • 產(chǎn)品文檔：

全自動(dòng)晶圓超掃

發(fā)布時(shí)間 : 2025-03-03 08:17

AW300TM

設(shè)備分類(lèi)：生產(chǎn)型

該系列設(shè)備是專(zhuān)門(mén)為粘合晶圓及硅片設(shè)計(jì)的全自動(dòng)C-SAM系統(tǒng)。
它容量大，產(chǎn)能高，靈敏度高，通常用來(lái)檢測(cè)SOI．MEMS等晶圓。由于這些材料對(duì)超聲波幾乎是透明的，SONOSCAN利用自己專(zhuān)門(mén)研制的高頻探頭進(jìn)行分析，以獲取更精細(xì)的圖像。AW系列能夠探測(cè)直徑小于5微米的空洞和薄如200埃的分層。
 
特色功能：
 

  • 全自動(dòng)檢測(cè)200/300mm的晶圓
  • SONOSCAN磚利的瀑布式探頭
  • 三個(gè)25片的晶圓匣盒
  • 可選水循環(huán)和給排水模塊
  • 精細(xì)定位的機(jī)械臂實(shí)現(xiàn)wafer自動(dòng)上下料，將產(chǎn)能擴(kuò)大化


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